日本IKO佧奈尔KNE纳米直线电机半导体及液晶相关制造装置专用NT

IKO纳米直线电机NT（NT…V、NT…H、NT…XZ、NT…XZH）

KNE佧奈尔日本IKO精密定位工作台，精度高，货期快，品质优，全系列可供应。

KNE佧奈尔供应的IKO 精密定位工作台是精密加工技术和电子工学相结合的产物，于工作台底座和滑台之间组装上直线导轨、滚珠丝杠和电机组合而成，精密定位工作台系列广泛应用于半导体制造和平板显示器等很多精密器械的定位机构，IKO在超精密机械和车床领域业绩斐然。

NT…V（标准型）

IKO纳米直线定位工作台NT在钢制可动台上配置磁铁和光学式线性编码器用光栅尺，钢制底座上配置定子线圈、线性编码器头等，是一款紧凑型功能出色的直线电机定位台。在工作台导向部使用小型直线导轨设备的直线导轨L，通过减少零件数量，重新设计零件形状，实现了卓越的性价比。定位工作台导向部采用实现了5年或20,000km免维护的IKOC-Lube直线导轨L，有利于减少维护所需的人工。

活动元件采用高性能钕磁铁，极小却具备36N的推力，能高速高响应定位。此外，机械性接触部分仅为直线导轨，实现了高清洁度。纳米直线定位工作台NT*适合用作半导体和液晶制造设备以及要求清洁环境的检验设备和组装设备等的小型定位机构。

• 产品特点：

极小而先进的直线电机定位台

IKO纳米直线定位工作台NT･･･V在钢制可动工作台上配置磁铁和光学式线性编码器用光栅尺，钢制底座上配置定子线圈、线性编码器头等，是一款紧凑型功能出色的直线电机定位台。

定位工作台导向部采用在小型直线导向装置领域赢得口碑的IKO直线导轨搭配直线电机，实现了高精度定位。

活动元件采用高性能钕磁铁，极小却具备大推力，能高速高响应定位。此外，机械性接触部分仅为直线导轨，实现了高清洁度。纳米直线定位工作台®是*适合用作半导体和液晶制造设备以及要求清洁环境的检验设备、电子元器件组装设备等的小型定位机构。

适用于多种运行规格

立轴规格通过装入专用的弹簧式平衡机构，可防止可动工作台在电源切断等时掉落。充分发挥NT…V的低断面、紧凑特性，可构建多连型拾取&定位机构等。此外还有双轴并列运行模式、XY双轴组合规格可根据需求自行设计。

支持运动网络

备有支持运动网络EtherCAT、SSCNETⅢ/H、MECHATROLINK、RTEX的驱动器，省配线、可构建高级系统。

NT…H（高精度型）

产品亮点：

l 出色的重复定位精度

工作台导向部采用滚子式“内置齿轨和齿轮形交叉滚子直线导轨”，实现了高刚性和对空气静压轴承无脉动地工作。移动过程中姿势变化极小，重复定位精度出色。

l 实现1μm以下的定位精度和行走平直度

彻底追求每一个构成零件的精度，精密装配，实现了1μm以下的定位精度和行走平直度。

l 高速度稳定性高

通过动作极顺畅的“内置齿轨和齿轮形交叉滚子直线导轨”与无心动磁式直线电机、高性能伺服驱动器的搭配，实现了高速度稳定性。(10mm/s移动时，±1%以下)

产品介绍：

IKO纳米直线电机在钢制可动工作台部配置了磁铁和光学式线性编码器用光栅尺，在钢制底座上配置了定子线圈、线性编码器用读取头等，是磁动方式的直线电机工作台。工作台的导向部采用小型直线导轨领域评价颇高的IKO交叉滚子直线导轨，通过搭配直线电机和高分解能线性编码器，实现了高精度定位。通过采用高性能钕磁石，可获得大推力，虽然是极小型，也可实现高速、高响应性定位。而且通过采用没有电缆的划时代驱动方式，机械接触部分只有直线导轨，实现了高洁净度。纳米直线电机*适合用作半导体及液晶相关制造装置、需要洁净环境的检查装置和电子零件组装装置等设备的紧凑型定位机构。

NT…XZ（拾取&定位单元）

NT…XZ是工作台导向部使用小型直线导轨设备C-Lube自润滑直线导轨L，X轴的可动工作台和Z轴的底座采用一体化设计，实现了厚度仅18mm的超薄型直线电机驱动的拾取&定位单元。通过输入定位程序，可自由选择不同的运转模式，还可根据工作轻松变更行程。

产品特点：

直线电机驱动的拾取&定位单元

采用直线电机驱动、构造无可比拟的拾取&定位单元。由XZ两个轴构成，配置有线性编码器，可实现精密的高节拍定位。

超薄型･节省空间

厚度为18mm的超薄型，在100mm的宽度空间里可并排组装4台，节省空间的配置为效率的提供做出贡献。

自由的运行节拍

输入定位程序、即可获得自由的运行节拍，可根据工件需求地改变行程。

运行监视功能

可使用驱动器的监视功能，通过计算机进行轨道的验证。

纳米直线电机NT･･･XZH

NT･･･XZH是工作台导向部使用小型直线导轨设备的C-Lube自润滑直线导轨L，X轴和Z轴采用紧凑一体化设计，是采用直线电机驱动的高推力拾取&定位单元。采用通过连杆机构驱动可动工作台，同时实现了直线电机的高推力及可动部的轻量化，缩短了动作周期。通过输入定位程序，可自由选择不同的运转模式，还可根据工件轻松变更行程。

直线电机驱动的拾取&定位单元　

采用直线电机驱动、构造无可比拟的高推力拾取&定位单元。将配备有线性编码器的X轴和Z轴紧凑地一体化，实现了高推力、高节拍的定位。

高推力・高节拍

X轴与Z轴的电机配置在同一平面上，采用连接构造的可动工作台驱动方式，并依靠直线电机的高推力化和可动部的轻量化，实现了动作节拍时间的大幅度缩短。

高分解能・高响应性

两轴都搭载有光学式线性编码器采用全闭环控制，实现了高分解能和高响应性。

风冷

采用将发热源的线圈与定子汇集在一起的结构，便于其冷却及向安装面散热。若指定使

用空冷选项配置的话，可缩短动作节拍时间。

可动部配线减少

虽说采用多轴单元，但由于可动部采用没有电线的可动磁铁方式。所以不仅便于配线处理，还实现了高清洁度。

运行监控功能

与NT･･･XZ相同，若使用驱动器的监控功能，可在计算机上对运行轨迹进行验证。

支持运动网络

备有支持运动网络EtherCAT、SSCNETⅢ/H、MECHATROLINK、RTEX的驱动器，省配线、可构建高级系统。

IKO精密定位工作台广泛应用于各种测量仪、加工设备、组装机，以及先进的液晶、半导体生产设备等高性能定位机构，其卓越的性能得到了充分证实。

纳米高精度工作台

纳米直线电机

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